Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion / Marina Inés Cornejo
Person(en) Cornejo, Marina Inés (Verfasser)
Ausgabe 1. Aufl.
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2011
Umfang/Format Online-Ressource : 26 farb. Ill. (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Cornejo, Marina Inés: Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion
Hochschulschrift Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2011
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201504265282
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-0462-5
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Saarbrücker Reihe Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; 29
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Silicium ; Oberflächenbehandlung ; Breitstrahl-Ionenquelle ; Musterbildung ; Nanostruktur
DDC-Notation 620.44 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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