Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/975826700 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Optimierung von Gate-Dielektrika für die MOS-Technologie / Alexandra Ludsteck |
| Person(en) | Ludsteck, Alexandra (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | VI, 122 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 195 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Ludsteck, Alexandra: Optimierung von Gate-Dielektrika für die MOS-Technologie |
| Hochschulschrift | Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2005 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-4247-3 kart. : EUR 45.80, sfr 91.60 3-8322-4247-3 kart. : EUR 45.80, sfr 91.60 |
| EAN | 9783832242473 |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | MOS-Schaltung ; Gate-Oxid ; Dielektrische Schicht ; Siliciumdioxid ; Siliciumoxinitride ; Rapid thermal processing |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2005 A 51811 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2005 A 72690 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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