Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "schafft"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/958792720 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zur kontrollierten Einstellung von Schichttexturen mittels der zwei-Strahl-Sputterdeposition am Beispiel von TiN / Michael Schafft |
| Person(en) | Schafft, Michael (Verfasser) |
| Ausgabe | Als Ms. gedr. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
| Umfang/Format | V, 106 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 1999 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8265-7281-4 kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00 3-8265-7281-5 kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00 |
| Beziehungen | Berichte aus der Physik |
| Schlagwörter | Titannitrid ; Dünne Schicht ; Sputtern ; Schichtwachstum ; Textur |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2000 A 29948
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2000 A 29948
Bereitstellung in Leipzig |
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