Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Machine Learning"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/131899098X |
| Titel | Towards smart scanning probe lithography: a framework accelerating nano-fabrication process with in-situ characterization via machine learning / by Yijie Liu, Xuexuan Li, Ben Pei, Lin Ge, Zhuo Xiong, Zhen Zhang |
| Person(en) |
Liu, Yijie (Verfasser) Li, Xuexuan (Verfasser) Pei, Ben (Verfasser) Ge, Lin (Verfasser) Xiong, Zhuo (Verfasser) Zhang, Zhen (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | 1 Online-Ressource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024021209571817897709 DOI: 10.1038/s41378-023-00587-z |
| URL | https://doi.org/10.1038/s41378-023-00587-z |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2023 |
| DDC-Notation | 620.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Microsystems & nanoengineering (Bd. 9, 10.10.2023, Nr. 1, date:12.2023: 1-14) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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