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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis / Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. Timo Mappes ...
Person(en) Mappes, Timo (Verfasser)
Organisation(en) Forschungszentrum Karlsruhe (Herausgebendes Organ)
Verlag Karlsruhe : FZKA
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 9,6 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mappes, Timo: Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis
Hochschulschrift Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:0005-072151
URL http://bibliothek.fzk.de/zb/berichte/FZKA7215.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Identifikationsnummern Reportnummer: FZKA 7215
DDC-Notation 621 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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