Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1051572630 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie / Felix Alexander Küpper |
| Person(en) | Küpper, Felix Alexander (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 70 Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Küpper, Felix Alexander: EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie |
| Hochschulschrift | Zugl.: RWTH Aachen University, Diss., 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2014052510137 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-2781-5 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Physik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Zinn ; Lasererzeugtes Plasma ; Strahler ; Extremes Ultraviolett |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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