Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1165650436 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Adhesion mechanism between laser sputtered materials, Copper and Aluminum on Silicon substrate / Mohammad Hossein Azhdast ; Gutachter: Klaus Dieter Lang, Hans Joachim Eichler, Thomas Schneider ; Betreuer: Klaus Dieter Lang |
Person(en) |
Azhdast, Mohammad Hossein (Verfasser) Lang, Klaus Dieter (Akademischer Betreuer) Lang, Klaus Dieter (Gutachter) Eichler, Hans Joachim (Gutachter) Schneider, Thomas (Gutachter) |
Verlag | Berlin : Technische Universität Berlin |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2018 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Hochschulschrift | Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2018 |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2018082902021404867312 DOI: 10.14279/depositonce-7281 Handle: 11303/8120 |
URL | (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | Wafer ; Silicium ; Laserbeschichten ; Kupfer ; Aluminium ; Dünne Schicht ; Adhäsion |
DDC-Notation | 671.73 [DDC23ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
