Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 sind von 9 bis 21:30 Uhr geöffnet. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will be open from 9:00 to 21:30.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung : Auswirkungen einer inhomogenen Plasmaverteilung auf die Schichteigenschaften bei dynamischer und statischer Beschichtung mittels gepulstem Dual-Magnetron / vorgelegt von Ronny Kleinhempel
Person(en) Kleinhempel, Ronny (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 3,4 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kleinhempel, Ronny: Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0078/data/Dissertation_RKleinhempel.PDF (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0078 (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Magnetronsputtern ; Transparent-leitendes Oxid
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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