Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1004937253 |
| Titel | Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices / Thomas Wächtler |
| Person(en) | Wächtler, Thomas (Verfasser) |
| Verlag | Chemnitz : Univ.-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | 245 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-941003-17-0 kart. : EUR 23.80 |
| EAN | 9783941003170 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Kupfer ; Kupferoxide ; Dünne Schicht ; Atomlagenabscheidung ; Metallisieren |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 621.3815 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 A 59092
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2010 A 73178
Bereitstellung in Leipzig |
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