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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen / vorgelegt von Peter Reinig
Person(en) Reinig, Peter (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 1,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reinig, Peter: Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen
Hochschulschrift Marburg, Univ., Diss., 2002
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hebis:04-z2002-02735
URL http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0273/pdf/dpr.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0273/ (Verlag)
Schlagwörter Dünnschichtsolarzelle ; Silicium ; Magnetronsputtern ; Ionenbestrahlung
DDC-Notation 621.31244 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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