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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/969805586 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten / Institut für Metallkunde der Universität Stuttgart ... Vorgelegt von Florian Kauffmann |
| Person(en) | Kauffmann, Florian (Verfasser) |
| Organisation(en) | Universität Stuttgart. Institut für Metallkunde (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Stuttgart : Max-Planck-Inst. für Metallforschung |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2004] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kauffmann, Florian: Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten |
| Hochschulschrift | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-15879 |
| URL |
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1587/pdf/Doktorarbeit_Kauffmann.pdf (Verlag) http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1587/index.html (Verlag) |
| Beziehungen | Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; Nr. 140 |
| Schlagwörter | PVD-Verfahren ; Nanostrukturiertes Material ; Titannitrid ; Titan |
| DDC-Notation | 546.51224 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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