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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/958970475 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen / Jens Hoche |
| Person(en) | Hoche, Jens (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
| Umfang/Format | XX, 142 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen |
| Hochschulschrift | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2000 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8265-7413-9 kart. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 3-8265-7413-3 kart. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 5 |
| Schlagwörter |
Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Trockenätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Plasmaätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2000 A 28952 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2000 A 28952 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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