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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung / Jochen Puchalla. Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Festkörperforschung (IFF), Elektronische Materialien (IFF-6). [Hrsg.: Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek]
Person(en) Puchalla, Jochen (Verfasser)
Ausgabe [Online-Ausg.]
Sekundärausgabe Online-Ausg.: [Aachen] : [Bibliothek der Techn. Hochsch.], 2007. 164 S.
Verlag Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource : Ill., graph. Darst. ; 24 cm (PDF)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Puchalla, Jochen: Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung
Hochschulschrift Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-20401
URL http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2007/2040/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
ISBN/Einband/Preis 978-3-89336-492-3
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik ; Bd. 17
Schlagwörter MOCVD-Verfahren ; FRAM <Informatik>
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 537.2448 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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