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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/99038313X
Art des Inhalts Aufsatzsammlung
Titel Reactive sputter deposition / D. Depla ... ed.
Person(en) Depla, Diederik (Mitwirkender)
Verlag Berlin ; Heidelberg : Springer
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource (PDF)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reactive sputter deposition
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-2008091197
DOI: 10.1007/978-3-540-76664-3
URL https://link.springer.com/book/10.1007/lr8m42 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-540-76664-3
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Springer series in materials science ; 109
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Magnetronsputtern ; Reaktives Sputtern ; PVD-Verfahren
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]; 667.9 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 660 Technische Chemie

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