Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=671*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/99038313X |
| Art des Inhalts | Aufsatzsammlung |
| Titel | Reactive sputter deposition / D. Depla ... ed. |
| Person(en) | Depla, Diederik (Mitwirkender) |
| Verlag | Berlin ; Heidelberg : Springer |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (PDF) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reactive sputter deposition |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-2008091197 DOI: 10.1007/978-3-540-76664-3 |
| URL | https://link.springer.com/book/10.1007/lr8m42 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-540-76664-3 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Springer series in materials science ; 109 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Reaktives Sputtern ; PVD-Verfahren |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger]; 667.9 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

