Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-Scatterometer / vorgelegt von Matthias Wurm
Person(en) Wurm, Matthias (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2009]
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 10,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wurm, Matthias: Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-Scatterometer
Hochschulschrift Jena, Univ., Diss., 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-20090407-082812-1
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-17172/Wurm/Dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Anmerkungen Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2008
DDC-Notation 535.43 [DDC22ger]; 530.417 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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