Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/979656524 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie) / vorgelegt von Kai Petter |
| Person(en) | Petter, Kai (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 2,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie) |
| Hochschulschrift | Marburg, Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hebis:04-z2006-00957 |
| URL |
http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0095/pdf/dkp.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0095/ (Verlag) |
| Anmerkungen | Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2005 |
| Schlagwörter | Silicium ; Epitaxieschicht ; Halbleiter / Gitterbaufehler |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 621.31244 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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