Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen / vorgelegt von Ursel Fantz
Person(en) Fantz, Ursel (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1995
Umfang/Format 95 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Schlagwörter Silane ; Plasma ; ECR-Heizung ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1995 A 7090
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1995 A 7090
Bereitstellung in Leipzig




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