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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1036875156
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Chemical Vapor Deposition : Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials
Verlag Boston, MA : Springer US
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1995
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20130709137
DOI: 10.1007/978-1-4757-4751-5
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4757-4751-5 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-1-475-74751-5
EAN 9781475747515
Anmerkungen Lizenzpflichtig
DDC-Notation 671.7350151864 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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