Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1036875156 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Chemical Vapor Deposition : Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials |
Verlag | Boston, MA : Springer US |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1995 |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-20130709137 DOI: 10.1007/978-1-4757-4751-5 |
URL | https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4757-4751-5 (Verlag) |
ISBN/Einband/Preis | 978-1-475-74751-5 |
EAN | 9781475747515 |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
DDC-Notation | 671.7350151864 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
