Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1001561546
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level / Alexey Shaporin. Technische Universität, Chemnitz
Person(en) Shaporin, Alexey (Verfasser)
Ausgabe [Online-Ausg.]
Sekundärausgabe Online-Ausg.: [Chemnitz] : [Bibliothek der Techn. Univ.], 2009. Online-Ressource
Verlag Chemnitz : Univ.-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 184 S. : Ill., graph. Darst. ; 22 cm (PDF)
Hochschulschrift Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0190 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
ISBN/Einband/Preis 978-3-941003-09-5
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Wafer ; Layout <Mikroelektronik> ; Parameteridentifikation ; Eigenfrequenz ; Toleranzanalyse
DDC-Notation 621.381548 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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