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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/981098584
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets / von Wolf-Michael Gnehr
Person(en) Gnehr, Wolf-Michael (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,8 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gnehr, Wolf-Michael: Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2006000040
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-9089/ilm1-2006000040.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=6116 (Verlag)
Schlagwörter *Indiumoxide / Dünne Schicht / Zinn / Dotierung / Magnetronsputtern / Hochschulschrift
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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