Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1008186929
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges / Marco Reinicke
Person(en) Reinicke, Marco (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource (PDF)
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-25338
URL http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-25338 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Dynamisches RAM ; Silicium ; Wafer ; Plasmaätzen ; Gasentladung
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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