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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1224956907
Titel Transmission Electron Microscopy of Hydrogeninduced Defects in Low Temperature Epitaxial Silicon / by G. B. Anderson, C. C. Tsai, R. Thompson
Person(en) Anderson, G. B. (Verfasser)
Tsai, C. C. (Verfasser)
Thompson, R. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021011221332990867043
DOI: 10.1557/PROC-262-241
URL https://doi.org/10.1557/PROC-262-241
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1992
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 262, 1.2.1992, Nr. 1, date:12.1992: 241-246)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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