Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1001552318 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren / vorgelegt von Nina Roth |
| Person(en) | Roth, Nina (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | 173 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Roth, Nina: Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Carboxylate ; Diketonate <beta> ; Effusionsmethode ; Kupfer ; MOCVD-Verfahren ; Phosphane ; Phosphite ; Ruthenium ; Thermogravimetrie |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger]; 547.05 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 540 Chemie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 A 30461 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2010 A 42676 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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