Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/981366163
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien / von Anton Bayerstadler
Person(en) Bayerstadler, Anton (Verfasser)
Ausgabe 1. Aufl.
Verlag Göttingen : Cuvillier
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format XI, 309 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2006
ISBN/Einband/Preis 978-3-86727-984-0 kart. : EUR 38.00
3-86727-984-5 kart. : EUR 38.00
978-3-86727-984-5 (falsch) kart. : EUR 38.00
EAN 9783867279840
Schlagwörter CMOS ; Ultrahochvakuumtechnik ; Gasphasenepitaxie ; Niedrigtemperatur ; Oberflächenreinigung ; In situ
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 A 5603
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 A 105752
Bereitstellung in Leipzig




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