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Ergebnis der Suche nach: "MARTIN" and "Martin"

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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1156921872
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflaechengeometrie / Bernhard Bürg
Person(en) Bürg, Bernhard (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1991
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1991
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA43916
URL https://publikationen.bibliothek.kit.edu/4391 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen KfK-Berichte ; 4849
Schlagwörter Mikrostruktur* ; Mikrosystemtechnik* ; Messung* ; Mikroelektronik* ; Bauelement* ; Räumliche Anordnung* (*maschinell ermittelt)

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