Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/990187810 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Temperaturstabile Dünnfilmwiderstände aus Ti/TiN und Ti/NiCr mit niedrigem Temperaturkoeffizienten und ihre Integration in einen Standard-CMOS-Prozess / von Dirk Nachrodt |
| Person(en) | Nachrodt, Dirk (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,0 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Nachrodt, Dirk: Temperaturstabile Dünnfilmwiderstände aus Ti,TiN und Ti,NiCr mit niedrigem Temperaturkoeffizienten und ihre Integration in einen Standard-CMOS-Prozess |
| Hochschulschrift | Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:464-20080814-083250-0 |
| URL | http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-20325/Nachrodt_Diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger]; 621.3742 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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