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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1055902376
Art des Inhalts Aufsatzsammlung
Titel Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices : Advanced Micro and Nanosystems
Person(en) Baltes, Henry (Herausgeber)
Brand, Oliver (Herausgeber)
Fedder, Gary K. (Herausgeber)
Hierold, Christofer (Herausgeber)
Korvink, Jan G. (Herausgeber)
Tabata, Osamu (Herausgeber)
Ausgabe 1., Auflage
Verlag Weinheim : Wiley-VCH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: ISBN: 978-3-527-33498-8
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: ISBN: 978-3-527-30746-3
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Enabling technologies for MEMS and nanodevices
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2014081719522
ISBN/Einband/Preis 978-3-527-67504-3
3-527-67504-3
EAN 9783527675043
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter MEMS ; Aufsatzsammlung
Nanotechnologie ; Aufsatzsammlung
DDC-Notation 621.3815 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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