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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Grenzflächenausbildung zwischen LiNbO3 (LiTaO3) und Barriereschichten für den Einsatz bei Metallisierungssystemen für SAW-Strukturen / Uwe Vogel. Betreuer: Jürgen Eckert. Gutachter: Jürgen Eckert ; Gerald Gerlach
Person(en) Vogel, Uwe (Verfasser)
Eckert, Jürgen (Akademischer Betreuer)
Gerlach, Gerald (Gutachter)
Verlag Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2016
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-201086
URL http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-201086 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Metallisieren* ; Grenzfläche* ; Schichtwachstum* ; Zwischenschicht* ; Tantal* ; Titan* ; Diffusionsbarriere* ; Elektrode* ; Oberfläche* ; Kristall* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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