Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten / von Siegmar Rudakowski
Person(en) Rudakowski, Siegmar (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format ca 9,3 MB
Hochschulschrift Bochum, Univ., Diss., 2002
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:294-6933
URL http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/RudakowskiSiegmar/diss.pdf
Schlagwörter Kohlenstoff ; Amorpher Zustand ; Wasserstoff ; Dünne Schicht ; PECVD-Verfahren ; Online-Publikation
Gepulste Gasentladung ; Plasmadiagnostik ; Schichtwachstum ; Elektrooptische Messung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

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