Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.5
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/989934934 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Next-generation nanoimprint lithography : innovative approaches towards improving flexibility and resolution of nanofabrication in the sub-15-nm region / by Stefan Harrer |
| Person(en) | Harrer, Stefan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 168,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Harrer, Stefan: Next-generation nanoimprint lithography |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss-20080226-646522-1-5 |
| URL | http://mediatum2.ub.tum.de/doc/646522/document.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 620.5 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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