Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985347880 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices / Jan Weber |
Person(en) | Weber, Jan (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 2,5 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Weber, Jan: Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices |
Hochschulschrift | Augsburg, Univ., Diss., 2007 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus-6401 |
URL |
http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2007/640/pdf/Weber_MEMS.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2007/640/index.html (Verlag) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | MEMS ; Hochfrequenz ; Akustischer Sensor |
DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
