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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices / Jan Weber
Person(en) Weber, Jan (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 2,5 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Weber, Jan: Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices
Hochschulschrift Augsburg, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus-6401
URL http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2007/640/pdf/Weber_MEMS.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2007/640/index.html (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter MEMS ; Hochfrequenz ; Akustischer Sensor
DDC-Notation 621.3815 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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