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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/997172762
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Novel high-k dielectric and amorphous barrier materials for capacitor devices and interconnect systems : integration and stability studies / Christian Wenger
Person(en) Wenger, Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 87 Bl. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Habil-Schr., 2009
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Enth. 10 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr.
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]; 620.195 [DDC22ger]; 537.24 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2009 B 19682
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2010 B 2651
Bereitstellung in Leipzig




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