Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/997172762 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Novel high-k dielectric and amorphous barrier materials for capacitor devices and interconnect systems : integration and stability studies / Christian Wenger |
Person(en) | Wenger, Christian (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | 87 Bl. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Hochschulschrift | Dresden, Techn. Univ., Habil-Schr., 2009 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Anmerkungen | Enth. 10 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr. |
DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger]; 620.195 [DDC22ger]; 537.24 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik |
Frankfurt |
Signatur: 2009 B 19682
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2010 B 2651
Bereitstellung in Leipzig |
