Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=68*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985967560 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / von Ahmed Tamim |
| Person(en) | Tamim, Ahmed (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | II, 122 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors |
| Hochschulschrift | Paderborn, Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 B 26428 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 B 31472 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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