Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981558976 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | ECWR plasma parameter characterisation and tuning for applications to thin film deposition (indium oxide) / vorgelegt von Vasile Vartolomei |
Person(en) | Vartolomei, Vasile (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
Umfang/Format | 162 S. : graph. Darst. ; 30 cm |
Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2004 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
DDC-Notation | 530.442 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Frankfurt |
Signatur: 2006 B 30450
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2006 B 34061
Bereitstellung in Leipzig |
