Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1050304934 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie / Felix Alexander Küpper |
| Person(en) | Küpper, Felix Alexander (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | VIII, 148 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 242 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Küpper, Felix Alexander: EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-2781-5 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 61.00 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844027815 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Physik |
| Schlagwörter | Zinn ; Lasererzeugtes Plasma ; Strahler ; Extremes Ultraviolett |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2014 A 47367 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2014 A 70985 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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