Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1218552425 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Contact related failure detection of semiconductor layer stacks using an acoustic emission test method / Marianne Unterreitmeier |
Person(en) | Unterreitmeier, Marianne (Verfasser) |
Organisation(en) | FAU University Press ein Imprint der Universität Erlangen-Nürnberg. Universitätsbibliothek (Verlag) |
Verlag | Erlangen : FAU University Press |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2020 |
Umfang/Format | xxiv, 234 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 24 cm, 641 g |
Hochschulschrift | Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2019 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-96147-305-2 Broschur : EUR 51.50 (DE), EUR 53.00 (AT) 3-96147-305-6 |
EAN | 9783961473052 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | FAU Forschungen / Reihe B / Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; Band 33 |
Schlagwörter | Wafer ; Halbleiterschicht ; Schallemissionsanalyse ; Rissbildung ; Härteeindruck ; Werkstoffschädigung ; Halbleitertechnologie ; Kontaktieren |
DDC-Notation | 621.381520287 [DDC23ger]; 620.1127 [DDC23ger] |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2020 A 68916
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2020 A 74975
Bereitstellung in Leipzig |
