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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Lithography-free micro- and nanostructuring based on conventional plasma etching / by Georgi Todorov Georgiev
Person(en) Georgiev, Georgi Todorov (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Umfang/Format IV, 95 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Georgiev, Georgi Todorov: Lithography-free micro- and nanostructuring based conventional plasma etching
Hochschulschrift Kassel, Univ., Diss., 2004
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Plasmaätzen
DDC-Notation 530.44 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2004 A 49208
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: 2004 A 47253
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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