Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/962053333 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer |
Person(en) | Schafbauer, Thomas (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
Umfang/Format | ca. 4,1 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung |
Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2001 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2001040215442 |
URL | http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2001/schafbauer.pdf |
Schlagwörter | Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung ; Online-Publikation |
Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
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