Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Titel Ultra-Low Energy Ion Implantation of Si into HfO2 and HfSiO-based Structures for Non Volatile Memory Applications / by F. Gloux, P. E. Coulon, J. Groenen, S. Schamm-Chardon, G Ben Assayag, B. Pecassou, A Slaoui, B. Sahu, M. Carrada, S. Lhostis, C. Bonafos
Person(en) Gloux, F. (Verfasser)
Coulon, P. E. (Verfasser)
Groenen, J. (Verfasser)
Schamm-Chardon, S. (Verfasser)
Assayag, G Ben (Verfasser)
Pecassou, B. (Verfasser)
Slaoui, A. (Verfasser)
Sahu, B. (Verfasser)
Carrada, M. (Verfasser)
Lhostis, S. (Verfasser)
Bonafos, C. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021030221582927353795
DOI: 10.1557/PROC-1250-G01-07
URL https://doi.org/10.1557/PROC-1250-G01-07
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
DDC-Notation 537.6226 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 1250, 1.08.2010, Nr. 1, date:12.2010: 1-6)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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