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Titel Extendibility of the PECVD Porogen Approach for ULK Materials / by Olivier Gourhant, Vincent Jousseaume, Laurent Favennec, Aziz Zenasni, Patrick Maury, Lucile Mage, Patrice Gonon, Gilbert Vincent
Person(en) Gourhant, Olivier (Verfasser)
Jousseaume, Vincent (Verfasser)
Favennec, Laurent (Verfasser)
Zenasni, Aziz (Verfasser)
Maury, Patrick (Verfasser)
Mage, Lucile (Verfasser)
Gonon, Patrice (Verfasser)
Vincent, Gilbert (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021013120321627481761
DOI: 10.1557/PROC-0990-B03-06
URL https://doi.org/10.1557/PROC-0990-B03-06
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
DDC-Notation 620.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 990, 30.12.2007, Nr. 1, date:12.2006: 1-6)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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