Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1060622343 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Microbolometer based on a Porous Silicon Fabrication Process with a Plasmonic Absorber / Daniel Etter |
| Person(en) | Etter, Daniel (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 58 farb. Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Etter, Daniel: Microbolometer based on a porous silicon fabrication process with a plasmonic absorber |
| Hochschulschrift | Zugl.: Universität Stuttgart, Diss., 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2014110911663 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-3020-4 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Bolometer ; MEMS ; CMOS ; Absorber ; Silicium ; Chip ; Herstellung |
| DDC-Notation | 681.25 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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