Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Titel The Twin Epipoly Process : A Foundry Process Flow for a Microfluidic Application Kit in Silicon/Glass
Person(en) Pirk, Tjalf (Verfasser eines Vorworts)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, 165 Seiten : 9 Illustrationen, 115 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: The twin epipoly process
Hochschulschrift Dissertation, Universität Freiburg, 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2018061707025586940168
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-7644-7
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Microfluidics & Nanofluidics ; 5
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Mikrofluidik ; Glas ; Silicium ; Polykristall ; Epitaxieschicht ; Prozesssteuerung
DDC-Notation 629.8042 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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