Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Titel Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch / Shuhao Si ; Gutachter: Stefan Sinzinger, Hartmut Hillmer ; Betreuer: Martin Hoffmann
Person(en) Si, Shuhao (Verfasser)
Hoffmann, Martin (Akademischer Betreuer)
Sinzinger, Stefan (Gutachter)
Hillmer, Hartmut (Gutachter)
Verlag Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2018
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000239
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00035151 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Nanoimprint lithography* ; Pitch* ; Nanostructures* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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