Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen / Ursel Fantz
Person(en) Fantz, Ursel (Verfasser)
Verlag Augsburg : Universität Augsburg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus4-4633
URL http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/579 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silane ; Plasma ; ECR-Heizung ; Plasmadiagnostik

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