Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=54*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1264849141 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Organic peracid etches : a new class of chromium-free etching solutions for the delineation of defects in thin silicon films / by Daniel Georg Possner |
| Person(en) | Possner, Daniel Georg (Verfasser) |
| Verlag | Leipzig ; Frankfurt am Main : Deutsche Nationalbibliothek |
| Zeitliche Einordnung |
Erscheinungsdatum: 2022 Original: 2009 |
| Umfang/Format | 1 Online-Ressource (1 CD-RW) |
| Andere Ausgabe(n) | Digitale Übertragung von: Possner, Daniel Georg: Organic peracid etches |
| Hochschulschrift | Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2022090913224353028613 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | Titel auf der Beil. |
| Schlagwörter | Kristallstruktur ; Silicium ; Oberflächenchemie |
| DDC-Notation | 548.81 [DDC22ger]; 546.68353 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
| Frankfurt | Exemplar nur eingeschränkt nutzbar |
| Leipzig | Exemplar nur eingeschränkt nutzbar |

