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Titel Mechanical Properties of 0.1 Micron Thick Simox Film Measured Using on-Chip Tensile Test System / by J. Amano, T. Ando, M. Shikida, K. Sato, T. Tsuchiya
Person(en) Amano, J. (Verfasser)
Ando, T. (Verfasser)
Shikida, M. (Verfasser)
Sato, K. (Verfasser)
Tsuchiya, T. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021012819530220392473
DOI: 10.1557/PROC-687-B8.3
URL https://doi.org/10.1557/PROC-687-B8.3
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
DDC-Notation 620.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 687, 15.3.2011, Nr. 1, date:12.2001: 1-6)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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