Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstumsregimes / Daniela Rogler. Gutachter: Eckhard Beyer ; Andreas Neidhardt ; Stefan Kaskel. Betreuer: Eckhard Beyer
Person(en) Rogler, Daniela (Verfasser)
Beyer, Eckhard (Akademischer Betreuer)
Neidhardt, Andreas (Akademischer Betreuer)
Kaskel, Stefan (Akademischer Betreuer)
Verlag Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rogler, Daniela: Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Hochschulschrift Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2012
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-97547
URL http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-97547 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Aufdampfen
Beschichtung* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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