Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166512142 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologische Konzepte zur Herstellung von Monolithischen Bidirektionalen Schaltern (MBS) / Matthias Baus |
| Person(en) | Baus, Matthias (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 140 Seiten : 66 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Baus, Matthias: Technologische Konzepte zur Herstellung von monolithischen bidirektionalen Schaltern (MBS) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090907045807272663 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6386-7 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter |
Monolithischer bidirektionaler Schalter ; Lateralstruktur ; Prozessentwicklung <Technik> ; CMOS ; Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Wafer Monolithischer bidirektionaler Schalter ; Simulation ; Funktionstest ; Schaltvorgang ; Elektrische Eigenschaft ; Temperaturverhalten |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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