Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166508986 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren / Peter J Schorn |
Person(en) | Schorn, Peter J. (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Auflage |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
Umfang/Format | Online-Ressource, 161 Seiten : 72 Illustrationen (pdf) |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schorn, Peter Jörg: Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren |
Hochschulschrift | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090905524917752097 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6080-4 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
Schlagwörter | FRAM <Informatik> ; Schichtkondensator ; PZT ; Dünne Schicht ; Materialermüdung ; Werkstofffehler |
DDC-Notation | 621.39732 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
