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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/980925703
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen / vorgelegt von Christian Lohmann
Person(en) Lohmann, Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,9 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Lohmann, Christian: Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200601174
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2006/0117/data/DISS_Abgabe.PDF (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2006/0117 (Verlag)
Schlagwörter MEMS ; Sensortechnik
DDC-Notation 621 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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